第214章 光学小组的争论 (第1/2页)

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夜晚，申城微电子，EUV专家小组，廖锡昌看着手中的实验报告，这已经是不知道第多少次极紫外光击打液态锡的测试了，通过验证的3个数学模型，每种都进行了上千次的测试，目前都没有获得最终的成功。

中科院那边验证的两个模型中，有一个可以跑到最后，但最终的输出功率却达不到要求。

梁圆走进廖老办公室，把大灯打开，“老师，只开台灯对视力影响不好。”

说完走到饮水机，给廖老倒了杯水，接着又从抽屉里拿出一瓶药，“医生都说了，您不能这样每天都熬下去了，今天的降压药又忘吃了。”

廖锡昌放下资料，“小圆来了啊，没事，最近稳定许多，少一天关系不大，一晃马上就要进入中旬了，你去看看柴文政他们，从拿到模型后到现在都没休息过。”

梁圆没听廖老的，走到身前，把药放在面前的桌子上，一副不吃她就不离开的架势。

见廖老吃完药后，她才说道：

“刚从实验室过来，劝不听，自从拿到模型后，柴组长跟丁冉教授分了两个组，不分昼夜的实验，始终没得到想要的效果，老师，您说不会是简易模型的问题。”

“这不好说，实验室那边的各种参数都达到了EUV光刻机的环境，但是光能的吸收力度远超我们的想象，你看这份报告，最终可用的光能才12w，距离最低要求25w还差一倍以上。”

梁圆安慰道，“从理论验证完成到实际落地实验，这个过程从来都是漫长的，我们的速度已经很快了。”

“我当然知道这点，只是10月份晶圆厂就要揭幕了，没有一台EUV镇厂，影响太大了，国际形象受损，国外的那些搞技术的也会笑话我们，这还是在有资料的情况下，否则我无法想象要如何才能完成EUV的研发。”

廖老低沉的声音回荡在安静的办公室里，梁圆看着心里也非常难受，只能不断安慰，“前两天小路还在打电话跟我说，让您注意身体，不用急，也别去管外面怎么说，10月出不来也没关系，现在已经很好了。”

听到自己学生的消息，廖老神色变得有精神了些，“小路最近做了几件漂亮的大事啊，我这个老师都替他骄傲，学生在外面冲锋陷阵，老师当然要给他争口气，放心吧，我垮不了。”

说完又拿起手中的资料，在桌上详细查看了起来。

光学系统实验室，小组二十几号人还在调试，这些都是从相关研究所过来的精英，有几人还是23所过来的同事。

一名戴着厚厚眼镜的男人说道，“柴教授，前脉冲肯定是没问题的，我们小组观察过上百次，几乎是没有起伏的。”

柴文政眼眶凹陷，这几个月足足瘦了20多斤，沙哑着嗓子，“单次脉冲没什么问题，击打也能保证同步，最有可能出问题的还是匀速，每次击打的间隔时间仍然有误差。”

站他旁边的是一名老教授，年纪比柴文政还大，来自清大紫光的专家，“老柴，有了模型的加持，你刚才说的误差是在可承受范围之内，我反而认为是第三块与第四块镜片的问题，每次到第五块光能就降到了20%以下，吸收占比太大了。”

“这已经是更换的第三批镜片了，而且这些镜片都是通过校验的。”

“丁教授那边提议直接组装实验，我们这个实验室空间还是太大了。”眼镜男人说道。

“实验室里的环境完全是真空状态，无尘级别也达到了最高要求，这边得不到验证，就算装起来，也不可能成功，空间应该不影响。”

老教授说道，“不一定，虽然从各项参数来看，里面的环境达标，但那只是我们现在的检测设备给出的结果，会否有未知原因导致光能被吸收呢？”