第217章 我们成功了 (第1/2页)

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接下来一周，路阳每天都往申城微电子跑，廖锡昌与应若涵一直小心的提防路阳，禁止他进入实验室。

柴文政与丁冉的争论也有了结果，那就是双管齐下，廖老与白学礼商量后又从其他单位调来50多人的团队帮忙，都是曾经的成员。

丁冉速度远超预料，一周时间便把EUV光刻机给组装出来，众人都期盼着奇迹的发生。

然而EUV是科学，不是玄学，连续两天的测试都并未成功，问题跟蔡文政那边类似，光能输出不够。

大连光源的周宇跟纪益玲也赶到实验室，一人跟一组，但现在不是初始脉冲的问题，而是吸收问题，不同的是两个小组，一个卡在第5与6块镜片，而丁冉小组则是卡在了最后两块。

设备虽然还没正常运转，但并非没有收获，相同参数的镜片，不同的反射结果，至少可以把镜片问题排除。

“冉姐，您看看这次实验，我们的光路反射一共是13次，比ASmL的要多两次，那我们是否能去掉最后两块镜片，光能不就够了吗？”纪益玲指着电脑中的数据说道。

与ASmL的EUV不同，华芯体系的EUV是由13块不同镜片组成的反射系统，这是当初路阳使用系统获得的制作资料，整个团队一直都是按照这份基础资料来做拓展研发的。

丁冉摇摇头，“不能去，工件台与后道工艺都是按13块设计的，如果去掉最后两块，后面所有都得重做，不现实。”

“把之前准备的光路设计都跑一次，记录好所有过程。”

丁冉与柴文政共设计了2000多种镜片反射光路，拿到数学模型后，筛选出符合条件的设计200多份，现在才跑完一半不到，她对自己的方案逐渐有了信心。

纪益玲只好放弃打算，黯然说道，“也只能如此了。”

“别灰心，我有预感，我们的方向对了，实验模型虽然参数都一样，但镜片是暴露的，并不密封，肉眼看不到的东西还很多，极有可能是一些未知影响到了结果。”

廖老办公室内，路阳再次提出了使用能力的想法。

“老师，冉姐这边已经确认了，就是最后次反射问题，风险不大，估计就是几分钟的时间。”

“小路啊，那只是丁冉得出的结论，不一定正确，一旦判断错误，我们都承担不起后果，你应该清楚，这其中可能涉及的漏洞，数量不会少。”廖老还是坚持自己的看法。

路阳又看了眼应若涵，“你也觉得风险比睿芯那次大？”

应若涵果断的点点头，大半年的时间，以她的智商，对EUV的了解程度比路阳要强许多，仅是光刻机内部，零部件就是几万个，这周她跟柴文政与丁冉没少请教，但两人都无法确认。

“路阳，你应该明白，上次是软件问题，而这次软硬件方面都有错误的可能性，何况现在设备都没有完全跑通过一次。”

敲门声响起，纪益玲冲进办公室，一脸喜色喊道，“廖老、路总，成了！跑通了两次。”

“真的？”路阳从沙发上跳了起来，“纪博士，你再说一次！”

“是的，第176号光路跑通的，最终获得的光能达标，所有人都往去那边了，冉姐让我来通知你们。”

“走，去实验室！”廖老放下茶杯，大步冲出办公室。

实验室内外都挤满了人，连申城微电子董事长贺兆国也闻讯赶来。

众人让开一条通道，廖老带着路阳与应若涵来到观察窗口，机房内华国第一台EUV光刻机各种运行指示灯闪动着，监控屏幕上，工件台飞速移动，不停的雕刻着晶圆。

紧张，激动，路阳甚至能听到自己心跳的声音，双拳紧握，一动不动的盯着屏幕。

现场莫名的安静下来，所有人都在等着一个结果。

丁冉双眼泛红，低声说道，“廖老，路总，这是第一次雕刻，良品率应该不会太高。”

廖老声音颤抖，“要什么良品率，只要有1块芯片能合格，就是胜利，用的设计是什么制程的？”