第36章 EUV光源 (第1/2页)
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“我叫路阳,马路的路,阳光的阳!”
路阳脸上一直挂着微笑,没有一点几百亿企业老板的气场,反而更像高校里跟着教授跑腿的研究生。
介绍完自己,接着又说道:“半导体芯片直接决定着一个国家的科技发展,不能被任何个人、企业把控,也不能被西方欧米势力卡住要害,华芯的目标便是要在5年内,让华国半导体芯片实现完全自主化研发,在技术上实现全球第一。”
“我能为各位提供的就是资金保障,市场保障,以及落地应用方面的整合。”
廖锡昌也是第一次听到路阳的目标,老人轻轻点头,他是真的把路阳当成了自己的学生,华芯如今的成绩已经足够亮眼,但他从未在路阳身上发现半点自满。
“说得好,路总!”专家组中有人说道。
“行了,还是叫他小路吧,华芯在申城松江那边的光刻机生产线计划投入500亿,从立项开始就是为了自主化研发,中芯国际的情况不能再次出现,动不动就被别人禁这禁那的。”
廖锡昌说完又看向新来的4人,“四位都说说看吧,一下午的时间,应该了解得差不多了。”
柴文政年纪最大,率先开口:“廖老,各位前辈,路……,小路,大家好,在离子束抛光技术上,要想实现0.02纳米的光滑级别,以现在长春光机所的设备还不够,需要从所里那边调配几台设备过来。”
“目前23所在0.1纳米抛光技术上已经有所突破,但是从0.1纳米到0.02纳米,还需时间进行验证,专利部分不用担心,所里的设备拥有完整的专利壁垒。”
“我补充一点,光是设备还不够,只有结合镀膜技术才有机会突破1纳米,所里这方面的技术还没达到资料上的水平,好在资料的内容十分详细,完全掌握不会太久,廖老,这份资料的镀膜技术23所那边可以使用吗?”
丁冉补充说道,如果获得这份技术授权,23所也会受益匪浅。
廖锡昌开口道:“小丁啊,难就难在这点,你不光要掌握,还要加入自己的东西,才能使用。”
这样一解释丁冉明白过来,看来自己猜得不错,这份绝密的技术文件,应该就是来自路阳的公司,至于获取方式嘛,商业上的行为可就多了,她也懒得去追根问底。
“明白了,廖老,我大概有方向如何解决这个问题,只是所花费的时间会比原来长些,可能还得从所里把我们两人的助手要过来。”
23所这边一个下午时间,便有了大概的方向,实力果然强啊,路阳心里这样想着,不由看向大连光源那边。
周宇跟纪益玲是在座的众人中除了路阳外年纪最小的,说话非常客气,“各位领导,我跟益玲正巧是研究紫外光的,方向也确实在光刻机的应用上。”
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