第63章 与28的选择 (第2/2页)

专利的判定方式非常复杂，这里就不再赘述，都是浸润式技术，其中的一些核心改动后是可以规避掉的。

今天廖老拿出的资料中就有改动后的浸润式技术，这耗费了申城微电子将近2个月的时间。

会议室内一片安静，海思团队的人都在认真看着资料。

温天洋作为海思的技术总监，越看越是心惊，无论是dUV还是EUV原理早已是公开的信息，其中的技术细节都只是知道名字而已，难怪总部会下这么大的决心，华芯这边的技术力量实在太强了。

“廖老，冒昧问一下，申城微电子这边现在已经使用了这套浸润式技术了吗？”

廖锡昌回答道：“已经进入调试阶段，距离实验流片还有一段时间，不过一旦那边成功，华芯这边可以直接使用。”

何洪年一怔，申城微电子与华芯的关系不简单啊，实际上两家的关系从12纳米硅片技术转让开始后，早已密不可分，申城微电子那边获得了苏硅cmp技术，改进的dUV光刻机技术。

上面也有意无意的让申城微电子成为打在明面上的一张牌，至于华芯，现在业内不清楚的人还在认为那是另一个“汉芯”或者“龙芯”，前者骗局，后者多年未曾落地。

何洪年继续问道：“这上面没并有详细的镜片工艺，我是不是可以这样理解，这块已经解决，只剩下组装问题。”

他是知道廖老在负责EUV光刻机研发的，以EUV对镜片工艺那种变态的要求，如果镜片工艺没有突破，根本就进不到下一步。

廖老点点头，并没多说，何洪年内心一喜，得到了他想要的答案。

“廖老，现在镜片的工艺到什么级别？没有对应的参数标准的话，我们在设计上不好预估。”一名光学方面的总工问道。

这就是路阳一直担心的问题，如果不告诉海思一些核心的数据，他们的研发便没有了基础。

好在廖老早有准备，“这方面你们不用担心，由于保密关系，工艺级别我不能告诉你们，但你们可以参考ASmL最先进的dUV镜片工艺来设计，华芯这边保证做出对应级别的镜片即可。”

好家伙，海思众人被这句话深深震撼，只要他们提要求，就一定能做出来，华芯虽然成立时间短，技术方面是真的深不见底啊。

终于有人提到了最重要的问题，“廖老，资料上提到了双工件台的技术，我想问现在成熟了吗？”

“华卓工件的朱易教授过几天会加入到我们的研发团队中，我想在这次的升级中，直接加入双工件台技术！”

路阳还是第一次开口，众人不会再小看眼前的年轻人，就凭他们手上拿着的资料，无人再怀疑华芯的决心与实力。

“这么说路总是倾向于28纳米精度了？”何洪年问道。

45还是28，这是个问题？