第65章 超纯水 (第2/2页)

风指的是气流循环，即芯片生产的无尘间，水自然是指超纯水，传说中的台鸡电每天用100多辆卡车运水就是因为自来水管道流出的水质量不够高，达不到要求。

听到这里路阳已经感觉到太苛刻了，王顺和似乎来了兴致，继续说道：

“各位，对于芯片来说，水中的一切化学物质都是剧毒，比如硅会导致硅片缺陷、硼会导致硅片掺杂，氯会影响化学沉积，各种金属离子会改变晶体管的电特性。”

“所以我们需要的超纯水系统，还必须配备多种水质分析仪，对水中的微量成分进行实施监测。”

王顺和指着眼前的设备给众人介绍道，“这台便是水质分析仪，价格相当于一台宝马x5。”

路阳看着眼前这台设备，吐槽道，“特么原来就是你们在吞金是吧。”

“大家都知道水是导电的，水杂质越少，电阻率就越高，海水电阻率约20欧姆厘米，自来水电阻率约200欧姆厘米，医用无菌注射水电阻率高于770千欧厘米，而我们半导体级的电阻率需要大于18.18兆欧姆厘米，可以说是完全的绝缘体。”

“电阻率之外最重要的参数就是总有机物中的碳含量，简称toc，它是水中各种有机物的总和，也是超纯水中残留最多的杂质成分，相对含量超过杂质的90%。”

“toc偏高会造成各种麻烦，比如硅片氧化时会导致成膜质量低下，浸没式光刻时造成镜头雾化，在高温制程中会产生碳化颗粒物等等。”

海思众人听得滋滋有味，王顺和接着又介绍了toc的实时监测，通常是先用紫外线照射水样，使含碳有机物分解，产生二氧化碳，导致水中电导率变化，以此计算出toc含量，超纯水的toc含量要小于10亿分之一。

“特么！芯片的洗澡水都如此复杂，更别提其他了。”

路阳再次暗骂，难怪监测设备这么贵，10亿分之一量级的监测，其技术含量只能说让人叹为观止。

“各位，超纯水虽然干净，但却不能饮用，一旦你喝了半导体级的超纯水，它可以把你榨干，会将人体内的微量元素与其他的矿物质全都吸干，长期饮用会造成体内严重的电解质失衡。”

路阳玩笑道：“懂了，超纯水只能用来洗澡。”

众人大笑，何洪年摇摇头，“感谢王总给我们介绍啊，这还没深入，就已经如此复杂了，看再多的资料也不如到现场亲自感受。”

路阳接着说道：“一直听人说起芯片的玄学，今天才了解到真的与风水有关，我在想流片的时候要不要拜拜！”

王顺和做了个里面请的手势，“各位，由于超净间的无尘要求，每次只能进3人，路总跟何总先进去？”

路阳抱着副本开荒的态度，换好衣服，在王顺和带带领下，与何洪年一起来到超净间。

走到光刻机旁，路阳不由自主的摸了下光刻机，像是触摸女人的果体般，颅内兴奋起来。