第73章 纳米光刻机（一） (第2/2页)

“明白，不过我想以华芯的实力，还有廖老的主持，一切都只是时间问题。”

温天洋看着路阳进来，赶紧向其介绍道：“镜头组差不多组装完成了，现在在安装的是气冷与检测系统。”

“速度还是很快的嘛，看来温总没少下功夫啊！”路阳伸手触摸着镜头组的外壳机身，室外的廖老眉头一皱，旋即恢复正常。

“镜片都检测过了，各方面数值非常不错，我们还做了次对比，不比ASmL的差，华芯在这方面进步不小啊。”

路阳对上中下的镜头组机身都动了手，遗憾的是系统一点反应都没，有心想吐槽，但一想到下周就要组装完成，赶紧收住念头。

“温总客气了，这次多亏了长春光机所的白教授，这批镜头原计划是给申城微电子的。”

“是得感谢他们，对了，路总，华芯光学的事如何了？”

“应该没什么问题，周总那边到时会安排人跟何总对接，地点大概率就在松江，由华芯牵头，长春光机所、大连光源都会派人参加，华微这边加入的话，做得隐秘些。”

这事周怀义跟上面汇报过，有华微的加入，各方面进度应该都会加快许多，尤其是人才方面。

“明白的，这事何总会单独向任老汇报。”

系统摆烂没反应，路阳只好退出净室，看到廖老时微微摇头。

跟着廖老来到双工件台的研发车间，几十号人正忙碌着，这次的升级改造，唯一短板就是这方面了。

前世做视频时，路阳便了解到华卓工件是世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司，打破了阿斯麦尔的垄断，但现在是2018年底，很多技术现在的华卓并未掌握。

朱易教授今年45岁，清大教授，与廖老自然是熟识的，见到两人，赶紧起身迎接。

“廖老，路总，很荣幸能参加这次的项目研发，苏硅的这台设备，工件台方面的技术对我们启发不小，有些专利如果应用到双工件台，90纳米精度应该可以稳定了。”

系统出品的技术，连ASmL都不一定比得过。

“朱教授辛苦了，你有兴趣的话可以跟小路这边谈技术授权，不过现在最优先的还是尽快让设备运行起来，这样我们才能开展下步的工作。”

也许是路阳那边并没出什么结果，廖老希望这边能加快速度，毕竟又不需要他们保证误差。

“放心，最慢3天，最快2天应该能出结果！”

严格说起来，廖锡昌算是朱易的老师，朱易在清大也曾经听过廖老的课。

“那就好，华卓一直是清大的骄傲，可别拖后腿啦！”