第148章 华芯晶圆厂 (第2/2页)

“哎，光学组的同事们最近压力很大啊，所有小组都在等着他们，这一步跨不过去，其他的工作无法开展，就算突破了，其他方面也肯定会出现问题，不过难度估计会小很多。”

“为什么不让路阳试试？”周怀义问出了自己最关心的问题，在他心目中，路阳的能力能解决这一切。

“试过了，EUV光刻机的制造资料本就是他那里出的，有给对应的控制技术，可惜的是资料只给了结果，默认我们能明白，没给具体的过程，现在我们就是在还原这个过程。”

“怀义，你也不用太急，EUV晚些出来也好，现在问世对西方的刺激就太大了，说不好他们会发什么疯。”

两人在工地上抽着烟，聊起现在华芯的整体进度，距离他们不远处，有接近10人的安保人员，这是最近增加的，可见局势并不稳。

路阳与应若涵赶到工地时已经下午3点了，看着已经建起的厂房，路阳再次感叹申城建工的恐怖速度，2个月时间就把厂房给盖起来了。

“抱歉，张老，没能亲自去接您，怠慢了。”看着头发已花白的张老，路阳发自内心的感激。

“小路客气了，华芯现在的条件，比我们当初优越太多，想当初我是一边满世界收集二手光刻机，一边还要跑投资，还得盯着厂区建设。”

张老现场给众人介绍起晶圆厂的建造特殊性，这可不是一般工程公司能完成的。

结构要防微震的，涂料要防掉屑的，厂房要修3层的，中间无尘洁净室，上层风机过滤机组，下层各种管道系统。

另外还有电力系统，仪控系统，超纯水系统，特气供应系统，化学品供应系统。

无尘车间和厂务系统建好后，接下来就是设备的安装了。

当然核心的就是光刻机，剩下的就是轨道机，刻蚀机，薄膜沉积设备，然后就是扩撒炉，氧化炉，cmp，离子注入机，湿法清洗，量测设备等。

晶圆厂设备成本就占总投资的70%以上，好在华芯的设备大部分都是自己制造的，这块可以控制到60%左右，但是大量的光刻胶、化学品，特种气体等原料就要占10%左右，水电能源占比6%左右，其他方面如人工成本，设备检修折旧之类的占比也很大。

所以晶圆厂一旦建好就不能停下来，这才是真正分分钟几百万的事。

好在来前应若涵给路阳补了课，要不然张老介绍的这些他还不一定能听得懂。

周怀义更是默默的拉远一定距离，大脑一片浆糊。

廖老笑道，“哈哈，看你们那是什么表情，不懂就问才是好学生，张老做这块快大半辈子了，你们才多久。”

张老跟着笑了起来，“也不用每一样都必须了解，前两天廖老带我看了苏硅的生产线，你们只需要把这里当成是那边的放大版就行了，现在唯一让我担心的是辅助设备的国产化是否能达得到要求，苏硅的设备除光刻机外，其他的大部分是改造而来。”

周怀义补充道，“蔡总在负责这方面的事，去年我们基本上把技术都分享出去了，大部分的设备都按照我们的要求生产出来，现在已经有部分设备在等待验证了。”

“光刻胶呢？”张老忽然问道。

路阳不好意思的挠了下头，“华芯九天这边正在加紧研发，现在我们还在使用以前的囤货。”