第66章 洁净室的秘密 (第1/2页)
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超净间外,温天洋正翻看着一本小册子,那是苏硅半导体洁净室介绍。
芯片作为目前人类文明最精密的工业产品,其生产过程,对于杂质污染极其敏感,尤其是纳米级的高端制程,混入衬底的几颗离子就能影响掺杂,改变芯片的电学特性,空中起舞的几个分子便可干扰覆膜,降低良率,落在表面的几颗尘埃,足以短路开路,破坏芯片的物理结构。
因此芯片的生产必须在一个绝对干净且稳定的环境中进行。
在各家芯片厂中,不同级别的净室占据绝大部分的位置。
净室中,空气中的浮尘微粒,甚至气体分子的密度都要被控制在极低的范围内,温度、湿度、压强、微震动等指标也必须可以精密调控,否则芯片生产就会难产。
芯片生产的净室,是所有无尘环境中要求最为苛刻的,其洁净等级、建造难度和施工成本都是最高的。
坐一旁的总工侧身对温天洋低声说道:
“温总,华芯这边的净室级别不低啊,应该是以前的净室改造的,但我一直听说国内无尘空间这方面的技术还不够支撑半导体级别。”
温天洋又翻过一页,边看边说:“听说是申城微电子那边过来协助改造的,当初还出现过一次问题。”
两人开始低声交流起无尘空间的情况。
在ISo-1标准认证中,干净是分级别的,按照颗粒物的直径和密度划分,把一个封闭空间的洁净度分为1-9级,数字越小级别越高,每高1级干净10倍。
ISo4-8级对应华国10级到10万级,在新闻中常听到的百级实验室,千级手术室就是指这个洁净等级了。
我们平时呼吸的空气,质量最佳的时候就是ISo9级的及格线,医院对应5-7级。
而芯片的生产,不能低于ISo3级的标准,关键制程需要2-1级的环境中进行。
举个栗子,ISo2级中pm0.5的颗粒物,比如一粒细菌,每立方米不能超过4个,pm0.1的颗粒物,比如病毒,每立方米不能超过100个。
最高的ISo1级,细菌已经算是庞然大物了,根本不允许进入,0.1微米的小颗粒,每立方米最多10粒,按体积算,相当于往西湖里撒10粒盐,所以芯片的净室比医院的净室要干净百万倍。
整个芯片生产的车间是如何保持洁净的呢?
主要是暖通空调系统,即保暖,通风,空气调节,简称hVAc,采用大量风机过滤单元,通过不间断的过滤与气流循环的方式来实现,ISo4以上的净室,需要超高效过滤器,对0.1微米的颗粒过滤效率超过99.999%,除了过滤器还需要风机。
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