第23章 升级完成,华国第一台EUV光刻机问世 (第2/2页)

【物品：ASmL第四代ArFi光刻机】

【光源波长：13.5纳米】

【经验值：1405\/200（可升级）】

【技能点：132】

……

“再升级！”杨晨下达命令。

【请宿主选择升级的部位：1、光源系统】

【2、反射系统】

【3、工作台系统】

【4、其他】

“工作台系统！”

第四代光刻机和第五代一样，都是双工作台，分别是测量平台和曝光平台，不过EUV光刻机对于移动平均偏差、移动标准偏差等数值的要求更高一些。

【物品：ASmL第四代ArFi光刻机】

【光源波长：13.5纳米】

【经验值：1205\/400（可升级）】

【技能点：132】

……

“继续！”

“升级反射系统！”

【物品：ASmL第四代ArFi光刻机】

【光源波长：13.5纳米】

【经验值：805\/800（可升级）】

【技能点：132】

……

“升级光刻机的其他零部件！”

【物品：ASmL第五代EUV光刻机】

【光源波长：13.5纳米】

【经验值：5\/1600】

【技能点：132】

连续升级四次之后，杨晨惊喜的发现，系统面板上的“物品名称”后面，清楚地显示着这台光刻机已经是第五代的EUV光刻机了。

虽然还是ASmL的产品，但也意味着他成功了。

这么看来，手搓光刻机也不是很难嘛！

不过杨晨还来不及庆祝，他还要升级其他的配套设施。

上午十点多。

在所有的物品都升级完成之后，杨晨也迈着六亲不认的步伐，正式走出了生产车间。

当他出现时，在外面等候的人都傻眼了，纷纷用奇怪的眼神看着他。

因为这次他只在里面呆了一个多小时，前几天都是十几个小时的。

看到杨晨那么快就出来了，梁志远再次开启嘲讽模式：“呵呵，前几天好歹做做样子，在里面呆了十几个小时，这次直接不装了！”

“因为他知道，再装下去也没有意思，迟早要被揭穿。”

说完，他又指着周围的人喊道：“保安，保安，给我看好这个人，不要让他跑了！”

“其他人跟我进入车间，看看里面的设备有没有损坏！”

“拿相机的人都跟我走，我们去拍摄证据。”

杨晨一脸冷笑地看着梁志远，但也没有阻止他，而是让开了通往车间的道路，让他带着中心国际的研究人员进去。

其他人也跟着进去了，想看看里面到底发生了什么。

反倒是余成东落在了最后，他看到杨晨一脸轻松，甚至有点想笑的样子，也不急着进去了，而是停下和对方聊天。

“怎么了，你不担心？”

“不担心，那个人只是一个跟不上时代发展又有些傲慢的老头罢了！”杨晨回答。

“这么说，你做到了？改造成功了？”余成东语气中略带一丝的兴奋之情。

“没错，里面有一台EUV光刻机！”

“卧槽！我也要去看看！”说完，余成东也急匆匆地走进去了。