第143章 双工件台的设想 (第1/2页)

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在实验室内，苏远山遇到了意想不到的人。

“郑叔？”

郑振川正带着研究员站在原子力显微镜前观察着什么，这让苏远山颇有些惊讶。按理说郑振川这边用不着原子力显微镜的。

苏远山建的物理实验室当然不是只有他自己用，而是统一归于科技园实验室中心管理。任何人只要打个申请就能使用。

“我来分析一下第一次曝光后的硅晶圆表面。”郑振川呵呵笑道。

“喔，那你们继续。”苏远山决定不打扰对方。

“没事，我们已经弄完了。”郑振川走向苏远山，想了想道：“小苏，你上次提到的双工件台设想，我们所里考虑了一下，发现难度很大，感觉根据现有的条件走不通。但一旦实现的话，确实对于光刻机来说，会是一个极大的提升。”

“嗯，没错。终于走不走得通……”苏远山笑了笑：“我们先不忙考虑其他，仅从设计角度上来说，可以设计出这样的机械装置来配合光刻机吗？”

郑振川笑道：“这当然可以，只要是机械，就没有设计不出来的。无非是精度、效率、体积罢了。”

“那不就结了？”苏远山摊手：“总得先试试，精度效率先不管，先管体积，先搞出来再说。”

“只是那非一朝一夕啊。”

“慢慢来嘛。”苏远山呵呵一笑：“我出钱的都不着急呢，这玩意哪怕十年弄出来也没啥。但只要弄出来了，那就是大杀器，对吧？”

郑振川笑着点了点头：“确实。”

苏远山呵呵一笑。

ASML之所以横扫全球，除了率先搞出193nm浸润式光刻机之外，双工件台也是它的独门绝活。国内是直到2020年了才搞了出来……

苏远山知道这些技术的难度，所以他压根不急，而且也没有办法着急。

远芯现在的研发底子和投入绝对是国内企业的顶级水准，但比起国外，还真的有差距。

这个差距不是体现在投入，而是体现在人才方面。

国外一来有着技术积累优势，二来有着知识积累的优势，还有着广纳人才的优势。而远芯这边，除了芯片设计领域之外，其他领域都只有靠苏远山的“前瞻眼光”来完成超越。

说白了，就是苏远山只能让人不走绕路。但路哪怕再直，也得一步步走下去。

所以这个科技园，算是苏远山强行在用钱砸。

好在国内人力成本便宜，所以远芯能轻松养起上千个研究员。

但除了人力成本，其他的可就不便宜了，远芯这边盖楼加建立实验室，又给无尘室实验室购买了蚀刻抛光离子注入等设备，虽然都是二手的，但整体下来，十几个亿的人民币就没了。

这还没算各个课题组的投入。

这时苏远山大哥大响起，他拿起电话，对郑振川笑道：“郑叔，你们安心搞你们的，钱这边我来想办法。”

“行。”

退出实验室，苏远山摁下接听键。

“你好。”

电话中，一个略带着一些紧张，又有些期待的声音响起。

“你好，大佬！”

苏远山微微一怔，脸上迅速弥漫起笑意来。

他快步走进隔壁的办公室，然后关上了房门。

……

“小叶，怎么想起给我打电话？”

苏远山坐到办公桌上，笑眯眯地道。