第33章 支线套环 (第1/2页)
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参加完五菱mini的发布会,路阳马不停蹄的赶到京城与专家组会和,镜片与镜头组的事不解决,下步工作无法展开。
国望光学,一家成立还不到4个月的企业,其背后是有长春光机所,算是目前国内唯一能光刻机曝光光学系统、高端镜头的企业了,与三巨头相比,算了,没有可比性。
ASmL的反射镜片是蔡司制造,号称整个地球上最光滑的物体,路阳记得网上曾经有句话,光滑程度可以代表一个文明的科技水平,三体的水滴,放大1000万倍仍然绝对光滑,其原理是强作用力,在地球不可能实现。
所以三体是二型文明?路阳忍不住吐槽,我只是想造光刻机而已,不想跟外星人接触。
现在有了镜片的制造工艺与技术文件,但是没人家的经验,也没对应的设备,而且你还得绕开专利,想想就头痛。
路阳现在的身份再次变成申城微电子工程师,廖锡昌的学生。
施阅博士说道:“EUV光刻机,最大镜面1.2m,表面粗糙度仅仅只有20pm(均方根 ),面精度(峰值与谷值的差值 )也仅仅只有0.12nm[2]。(1pm\\u003d10^-12米)
如果把EUV光刻机镜片放大到地球那么大,那么它的表面粗糙度也仅仅0.2mm。
另外,我们都知道镜片的成分是硅,而硅原子的直径都有0.25nm,蔡司的这个精度可谓是已经接近物理极限。”
自己只是学生,听不懂很正常,路阳把自己变成透明人,拿着本子在一旁假装记录。
廖锡昌说道:“华科院目前能够达到的精度是0.1nm,而且这个还是实验室精度,是EUV光刻机镜片表面粗糙度的5倍。”
接着又介绍了超光滑表面加工工艺,主要有离子束抛光、磁流变抛光、抛光盘抛光、柔性介质抛光、浴法抛光、浮法抛光,等离子体辅助抛光,这些工艺都可以达到0.1nm的精度。
蔡司所用的是离子束抛光技术,在2015年提出了离子束抛光装置,后又于2017年申请了两项专利,进一步在晶体上设置非晶体材料,然后用电子束照射消除基底表面缺陷,使基底更加的平滑。
离子束抛光中的离子束溅射法能够沉积致密的薄膜,从而可以一层层地给EUV光刻机镜片镀上多层膜,目前先进的超光滑表面粗糙度为0.1nm左右,蔡司能做到0.02nm真的不服不行。
施阅说道:“现在别说是要绕开蔡司的专利问题,就算是使用他的技术我们也做不出来。”
路阳最烦这种消息的人,只会找借口,满满负能量。
廖锡昌看向专家组中的另一位光学方面的专家白学礼教授,今年56岁,来自长春光机所,
“老白,我想听听你的意见,我不想再听我们做不出来,要给方向。”
这话显然是针对施阅的,总是提不可能,你倒是想办法啊。
白学礼沉思片刻,“廖老,你也别怪施阅说话直接,以现在国望光学的实力,确实不现实,我们去长春光机所那边,我看了下蔡司的离子束抛光装置,那边的设备有可能改造得出来,暂时先不管专利的事,先做出来再说。”
路阳暗自点头,瞧瞧人家这态度。
“廖老,离子束抛光技术,华国最先进的并不在华科院。”说完白学礼竟然看了眼路阳。
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