第45章 攻克镜片(二) (第1/2页)
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忽然听到传说中的名字,路阳肃然起敬,难怪白教授每次提到23所脸上都充满敬意。
次日清早,路阳赶到光机所时,工作间站满了人,专家小组,23所,大连光源的同事都回来了,还有几个新面孔,看站位便知道那是23所两位教授的助手,大连光源那边也从两人增加到5人。
所有人视线都看向净室内,穿着洁净服的工作人员正在安装设备,看样子也差不多到了尾声。
白学礼拿着手上的资料,正在一一比对,看来是昨晚光机所这边连夜加班安装的。
“廖老,这样一来,按照您的要求,这条加工线算是完成了,有70%的设备跟资料中的相同,剩下的替代也满足要求。”
人群中的廖老,今天看起来更加精神,路阳站在他身边,手里拿着笔跟笔记本,再次变成学生模样。
“辛苦了,先测试吧!”
接着白学礼的两名助手抱过一沓文件,给现场所有人每人发了一本。
“各位,这是镜片加工生产线的说明文档,对应的设备、工艺、技术说明都做了图文标注,今天我们的任务就是两项,第一项是加工线的测试,第二项是1纳米镜片的打磨。”
说完白学礼对加工线的同事点了下头,示意开始。
设备启动,监控画面也传来了内间的操作画面,只见工作人员拿出预先生产好的镜片,送入加工线,开始了第一道流程,物理打磨。
镜片看起来跟12英寸的硅片相同大小,1英寸为2.54厘米,12英寸约30厘米。
众人视线集中到显示大屏上,凝重中带有丝期待。
“行了,测试而已,一块镜片的加工至少需要几个小时,在那之前再给大家复述下接下来我们的工作安排。”廖老那洪亮高亢的声音响起。
路阳一直不明白,廖老的身型算是所有人中最矮小的一人,但其声音,气场无人能及,无论多嘈杂的环境,你总能听清他说的话。
“第一步,长春光学这边完成整个EUV光刻机的光学系统,需要完成三个主要目标:1.镜片与反射镜制作,2.镜头组安装,3.完成光学系统验证,这第一步需要23所以及大连光源这边的同事协助完成。”
“第二步,光刻机的整体组装,需要到申城微电子那边去完成,现在那边的同事正在用dUV的技术进行调试,我们都清楚浸润式光刻原理非常复杂,新成立的华芯光电正在全力配合。”
目前的两种光刻机,不管是dUV,还是EUV,基本上都采用浸润式原理。
简单总结就是在光刻机中,采用水为介质,让193nm波长的光线,进入水中进行折射后,让波长变成132纳米,从而实现从45nm-10nm级别的光刻。
浸润式光刻技术是台鸡电林教授于2002年提出的,让193纳米的紫外光通过水的折射变成波长为132纳米的光源,在这之前全世界都无法寻找到波长小于193纳米的光源。
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