第45章 攻克镜片(二) (第2/2页)
“第三步,工件台移动及测控系统也是在申城微电子那边完成,完成以上三步后实现EUV光刻机的组装,开启测试。”
廖老接着开始介绍整个流程中最为艰难的部分,13.5纳米极紫外光制造。
它需要用20kw的激光,不断轰击从空中滴落的液态锡珠,这些金属液滴的直径只有20微米,大概相当于头发丝直径的1\/3,并且液滴在真空环境中是处于自由下落的状态。
同一个液滴需要在极短时间内被连续轰击两次,第一次冲击是将它压平,第二次冲击是将它汽化,使之成为发光的等离子体,这样才能产生足够强度的极紫外光。
更重要的是,轰击所产生的光转瞬即逝,因此需要每秒钟轰击约五万次,才能保证光的持续性。
持续性光源通过反射镜多次反射,祛除光干扰,然后通过镜头组实现均匀化,最终才形成可以用于雕刻的极紫外光。
路阳听得头皮发麻,每秒5万次的击打,还是在真空状态下,哪怕知道原理,拥有技术,这得多少次实验才能成功啊。
廖老的声音继续回荡在工作间中,
“大家要有心里准备,不可能我们第一次生产的镜片就能完成任务,这中间镜片与镜头组的调试尤为麻烦,需要申城微电子、长春光机所两边跑,而光源部分,20Kw这是个最低值,低于这个数值,最后获得的极紫外光无法使用,所以大连光源这边还得继续增大光源的功率。”
大连光源5人一听这话,心中苦涩,现在20Kw的功率,他们还能勉强达到,稳定性都还不够,要提升谈何容易。
23所的柴文政问道:“我们为什么不把申城那边组装好的设备运到光机所来测试呢?”
白学礼苦笑道:“我也想啊,但长春光机所的整体硬件条件不够,重建需要花费的时间太长,我们仅仅是家光学研究所而已,完全达不到光刻机的环境要求。”
“好了,不要再纠结这个问题,这是目前的最优解,现在我们要突破的是别人几十年甚至上百年才完成的技术,可以说是已经站在巨人肩上乘凉了。”
专家组再次对这三大步骤展开谈论,分配任务,特别是大连光源的同事,刚开始时,还觉得他们是目前所有环节中最为把稳的一环,结果也没那么保险。
三小时后,工作人员终于对镜片展开了最终测试,看到结果,白学礼一直紧绷的情绪终于缓和下来。
“各位,这第一步还不错,起了个好头,说明我们的加工线设计是正确的,这第一块加工完成的镜片,各项指标都远超我们之前的产品,路总,好消息是dUV光刻机的镜片,以现在的这条加工线,应该是能满足了。”
这是一剂强心针,所有人对下午的正式加工结果信心大增。
专家小组背后是各家的鼎力支持,这条加工线能在不到一个月时间完成,背后所付出的资金、资源都是不可估量的。
“看来90纳米dUV光刻机的生产线是稳了,下一步逐步升级到45纳米的dUV光刻机也该提上日程了。”
路阳心想,这下总算是出新手村了。